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在線擴散/氧化退火石英舟上下料機生產工藝 將經過擴散工藝處理后石英舟內的硅片，自動取出裝入花籃。并將未經過擴散工藝處理的硅片自動從花籃取出，裝入到石英舟，然后用機械手將石英舟搬入擴散爐傳送帶，再傳入擴散爐即進行擴散工藝，石英舟傳出擴散爐依此循環。 工裝 硅片花籃 片數=100 籃尺距=4.76 石英舟 1200片 間距2.38 
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這款機器的核心在于陶瓷叉子和石英舟的匹配精度，陶瓷件我們使用了成千上萬件，裝配過程中我們總結出了一個消除累計誤差的經驗，即使在長達一百片的整體裝配中也能讓累計誤差控制在0.3mm以內，為后續機器的提速和碎片率穩定性做好了充足的準備 生產工藝 將經過擴散工藝處理后石英舟內的硅片，自動取出裝入花籃。并將未經過擴散工藝處理的硅片自動從花籃取出，裝入到石英舟，然后用機械手將石英舟搬入擴散爐傳送帶，再傳入擴散爐即進行擴散工藝，石英舟傳出擴散爐依此循環。 工裝 硅片花籃 片數=100 籃尺距=4.76 石英舟 1200片 間距2.38 產能 上下片≥10000pcs/h 單臺碎片率 ≦0.01%（原碎片除外）A片 |
