|
管式PECVD上下料機生產工藝 將經過管式PECVD工藝處理后石墨舟內的硅片自動裝載至硅片承載盒中或將未經過管式PECVD工藝處理承載盒里的硅片自動裝載至石墨舟內，石墨舟由自動機械手送入PECVD內鍍膜處理。 工裝 硅片花籃片數=100/50 籃尺距=4.76MM 石墨舟 可定制工裝 產能 ≥6800pcs/h 
收藏
這款機器重點在于機器人吸盤的精準度技巧，采用不易變形的輕型材料加工，結構設計上采用了對稱的均衡應力的方法，使插片經久耐用結構穩定 生產工藝 將經過管式PECVD工藝處理后石墨舟內的硅片自動裝載至硅片承載盒中或將未經過管式PECVD工藝處理承載盒里的硅片自動裝載至石墨舟內，石墨舟由自動機械手送入PECVD內鍍膜處理。 工裝 硅片花籃片數=100/50 籃尺距=4.76MM 石墨舟 可定制工裝 產能 ≥6800pcs/h 碎片率 ≦0.02%（原碎片除外）A片 |
